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第414章 只能先睁一只眼闭一只眼（第2页）

天然未加工的光刻胶就是另外一码事儿，分辨率低，需要较长曝光时间，限制了光刻机技术发展。

自用的光刻胶，使用的材料是光敏聚合物。

分辨率高。

曝光时间短。

同样的光刻机，使用两种光刻胶制造出来的芯片，不能说一个天上一个地下，但也是两种产物。

质量不可同日而语。

“唉，光敏聚合物制作的光刻胶，其实性能也不太好，缺点也不少，只是目前没有更好的。”

万兴邦对光敏聚合物也不太满意。

光敏聚合物也有缺点。

光敏聚合物对万兴邦而言，就是一种过渡产品，迫不得已的情况下矮子里选大个，先顶上!等他找到更好的材料，制造出更好的光刻胶，就淘汰光敏聚合物。

光明聚合物的缺点也很多。

缺点一是对能量比较敏感。

。

在光刻机工作过程中，必须严格控制光源的能量，也就是光长度，以保证光刻胶的感光度。

对紫外光和深紫外光尤其敏感。

缺点二是对化学溶剂耐受性较弱。

在光刻机加工的过程中，有些生产步骤需要使用化学溶剂，清除未暴露部分残留的光刻胶。

这一步非常关键。

该清除的部分，要是清理不干净，再继续光刻的时候，就容易造成漏刻，就会导致芯片报废。

不该清除的部分，是被清除了，或者膨胀了，就会导致不该雕刻的部分雕刻了，或者变形。

同样会报废芯片。

因此。

使用光敏聚合物制作的光刻胶，对化学溶剂要求也非常高，各种物质的配比必须严格按照要求。

只要有一点不对，一批芯片就报废了。

缺点三是机械性能差，包括机械强度和耐磨性。

有一些芯片加工的时候，中间的加工环节，有可能会施加一定程度的物理压力，或简单打磨。

这种类型的芯片，就不适合使用聚合物光刻胶。

缺点四是稳定性差。

强光照射、温度骤变、气密性不好，都有可能导致聚合物光刻胶变质，储存环境要求比较高。

有些时候。

聚合物光刻胶轻微变质，从物理性状上根本看不出来，颜色不变，味道不变，会被误认为是好的。

但是。

进了光刻机，实际加工的时候，就会出现问题，容易导致一批芯片报废，甚至影响光刻机。

这才是最糟糕的。

这些缺陷，都是聚合物本身的缺陷，根本无法改变。

只能先用着。

继续研发更好的光刻胶。

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第二代光刻机，目前只是初级产品，还有待进一步升级，新型光刻胶就是重点升级目标之一。