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第415章光刻设备产业技术创新战略联盟专家协会（第2页）

“对，据说是国家在幕后积极推动的结果，不只是我们，还有微电子、国望光学科技、胜利精密等数十家相关企业都已经收到消息了。”

朱昱一听不由得微愣，旋即陷入了沉思，他是华卓精科的实际控制人和首席科学家，工学博士，这个行业的一大领军级人才。

华卓精创是目前国内唯一的光刻机工件台供应商，光刻机主要是由曝光光学系统和超精密工作台构成，其中超精密工作台是光刻机产品平台的核心子系统，承载着晶圆在光刻过程中实现高速超精密的步进扫描运动，成本占到了光刻机的10~20%左右。

光刻机精密工件台技术在超精密机械制造与控制领域处于最尖端地位，被称为超精密技术皇冠上的明珠。

而华卓精创是世界上第二家掌握双工件台核心技术的公司，成功推出了第一台满足65纳米光刻需求的双工件台样机，打破了ASML公司在该领域的技术垄断。

朱昱不但是华卓精创的实际控制人，也是青华大学机械电子工程研究所所长，也担任国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”科技重大专项实施方案编制专家组合总体专家组副组长、技术副总师，装备组、光刻机组组长。出版学术专著有2部，发表论文达170余篇，申请国家发明专利160余项、授权90余项，其中美国专利9项。

是一个业界难得的大佬级人物。

“嗯，知道了，其它工作安排暂时延后，去苏城赴约吧。”朱昱结束了思考立刻有了决断，他已经意识到业界即将迎来重大甚至是巨大的转变。

国家在幕后积极推动的效率就是不一样，几乎在同一时间，光刻设备产业技术相关的企业或研究机构都得知了消息，并且纷纷响应，这种统筹调度集中力量办大事的能力全世界只此一家别无分店。

……

8月底，朱昱如约应邀来到苏城，前往罗晟的私人科技综合体大厦，光刻设备领域国内能排的上号的公司掌门人一个不落下的全都来了。

例如苏城本地的另一家半导体相关的企业“胜利精密”，是内地3C行业结构模组的提供商，这家公司于2003年在苏城高新区成立，是除了罗晟的企业以外的苏城民营科技型企业集团，现在的注册资本22亿元，净资产大约58亿元。

胜利精密在今年的深交所上市，同时在国内、波兰、芬兰、爱沙尼亚、北美、曰本等地拥有60多家全资、控股和参股子公司，设计精密制造、智能制造、新能源等领域，目前是国内民营企业五百强之一。

……

此时，在大厦内部一间空旷的室内会议大厅里，三十多个身着正装的男士在一个大椭圆桌上正襟危坐，罗晟也在在场，也只有他是一如既往的随意穿着，也只有他是最年轻的那个人，但又是在场所有人当中能量最大的那个人。

值得一提的是，在场的人当中，有差不多一半的人所代表的企业都接受过了晟峰资本的投资参股，所以罗晟实际上是他们的老板之一，大多都是参股20~30%左右，没有想过控股。

但是罗晟也有办法来间接控制，简单，那就是通过技术来制约。

“诸位，在进入正题之前，我先公布一个好消息，国产高端光刻设备有望在未来三到五年内自研成功。”

罗晟的话很简洁，但在场的所有人一听无不震动。

朱昱下意识的惊道：“什么？三到五年？罗总你确定这不是在拿我们开玩笑吧？”

罗晟望了对方一眼便环视众人：“难不成我费老大劲把各位请来是为了耍个皮？我是认真的。”

众人惊疑不定，面面相觑，没有一人出来回应。

罗晟旋即打开了会议大厅里的大屏幕，然后在自己的工作电脑上敲打了几下，与会的众人纷纷望去，看到墙面上的大屏幕里显示着一行字：极紫外光刻（EUV）

朱昱等人看到这个内心更是大为震动，作为业内人士，怎么不知道这几个字代表的是什么。

90年代后期，ASML公司和其它一些合作伙伴就开始研究EUV极紫外光刻技术的论证，并且有人坚信EUV极紫外光刻能够拯救摩尔定律，为其续命。

但事实真的如此吗？

与会的行业大拿们心中冒出了这么一个疑问，这么多年过去了EUV还是那个鸟样，依旧没有什么突破性的进展。

但是罗晟突然说出这样的话来，还有国家在幕后推动，又让他们不得不在心里重新评判了，毕竟“罗晟效应”还是很有威力的。

……