奇文啦

手机浏览器扫描二维码访问

分卷阅读74（第2页）

兔国的线路图设计水平位于世界前列，但一直无法制造高端光刻机，基本依赖进口。

这其中，原因有很多，也包括光刻机的物镜系统不能自主生产。

姜昭节拧起眉头，神色有些凝重，刘佳宁愣了一下，误会他没明白自己的意思，于是进一步解释。

“物镜系统的作用，姜总你知道的吧？补偿光学误差，并等比例缩小线路图。这个需要非常高的精度来避免图像变形，所以和平时见到的什么显微镜、望远镜的镜片是有区别的。”

包括材质、镀层什么的，要求都更加严苛。

姜昭节点点头，也压低了声音：“但星维现在使用的物镜，已经是国内能买到的最好的了。是直接从实验室出来的。”

刘佳宁一惊，再次对姜昭节广阔的人脉叹为观止，边上那位大牛听到，也惊奇侧目。

“小友辛苦了。”大佬和蔼地道，“你有这个心，还尽了这个力，实在是难得。”

姜昭节忙谦虚了几句。

大佬摇摇头，很是真心地夸赞了姜昭节一会，转头看向刘佳宁：“小刘啊，你过来看。看出来什么了吗？”

刘佳宁走上前去，看着大佬指出的几处数据，疑惑道：“这几组数据……好像都有点偏高了。”

大佬赞许道：“你们这个研究成果，可了不得，最终能源转换效率提升了不少。”

光刻机能耗非常恐怖，因为经过多次反射，能源转换效率不足002，为了完成最后的工序，自然要加大能量提供。

刘佳宁他们研发的新技术，能够有效缩短光的反射路程，减少过程中的能量损耗，折合过去，就是每天大量减少电力消耗，同时还降低了光刻机本身的制造难度，理所当然得到大佬的高度赞扬。

大佬笑道：“毕竟是个新技术，目前不够稳定，对物镜系统要求也比较高，确实有些隐患。”

他又翻出几个数据，招呼刘佳宁和曲旭清看。

两人把着重提出来的数据汇总分析，很快意识到，由于对物镜系统要求过高，这项技术很可能会影响整个光刻机的温控设备。

刘佳宁恍然大悟，还对姜昭节解释道：“这应该就是我本能觉得不对的地方了。咱们公司的实验室，没有单独测量物镜温度的设备，我倒是疏忽了这一块的问题。”

目前对于调控缩放线路图的光路，比较先进的方法是控制透镜和反射镜的温度。

新技术可以缩短芯片制程，虽然减少一定能耗，但每单位路程上，光束更加集中，导致单位体积内热量增高，必然影响温控设备的使用和调节。

曲旭清琢磨着道：“看来得增加一个补偿校正温度的设备。”

刘佳宁：“温度控制器？以目前国内的物镜生产水平，恐怕得加大功率的才有效。”

姜昭节随口道：“什么样算大功率？如果功率过大，会不会这项技术能够减少的能耗？”

刘佳宁和曲旭清同时皱起眉头：“这个要测定一下，还不好说。”

但如果温控设备的消耗超过了新技术节约的能耗，那这项技术……

有不如没有。

两人忍不住发愁，辛

p

p-